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Traitement de surface ultrapropre des plaquettes de silicium - 9783642082726
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Dernière mise à jour le 07 sept. 2024 11:48:52 CEST. Afficher toutes les modificationsAfficher toutes les modifications
Caractéristiques de l'objet
- État
- Book Title
- Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers
- ISBN
- 9783642082726
- Subject Area
- Material Science, Mechanical Engineering
- Publication Name
- Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of Vlsi Manufacturing
- Publisher
- Springer-Verlag Berlin AND Heidelberg Gmbh & Co. KG
- Subject
- Engineering & Technology, Chemistry, Physics
- Publication Year
- 2010
- Type
- Textbook
- Format
- Paperback
- Language
- English
- Item Height
- 235 mm
- Item Weight
- 979 g
- Item Width
- 155 mm
- Number of Pages
- 616 Pages
À propos de ce produit
Product Information
A totally new concept for clean surface processing of Si wafers is introduced in this book. Some fifty distinguished researchers and engineers from the leading Japanese semiconductor companies, such as NEC, Hitachi, Toshiba, Sony and Panasonic as well as from several universities reveal to us for the first time the secrets of these highly productive institutions. They describe the techniques and equipment necessary for the preparation of clean high-quality semiconductor surfaces as a first step in high-yield/high-quality device production. This book thus opens the door to the manufacturing of reliable nanoscale devices and will be extremely useful for every engineer, physicist and technician involved in the production of silicon semiconductor devices.
Product Identifiers
Publisher
Springer-Verlag Berlin AND Heidelberg Gmbh & Co. KG
ISBN-13
9783642082726
eBay Product ID (ePID)
178247164
Product Key Features
Number of Pages
616 Pages
Language
English
Publication Name
Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of Vlsi Manufacturing
Publication Year
2010
Subject
Engineering & Technology, Chemistry, Physics
Type
Textbook
Subject Area
Material Science, Mechanical Engineering
Format
Paperback
Dimensions
Item Height
235 mm
Item Weight
979 g
Item Width
155 mm
Additional Product Features
Editor
Takeshi Hattori
Country/Region of Manufacture
Germany
Description de l'objet fournie par le vendeur
Informations sur le vendeur professionnel
BOOKS ETC LIMITED
Andy Smith
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Numéro CRN :
- 06687355
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