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Traitement de surface ultrapropre des plaquettes de silicium - 9783642082726

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Numéro de l'objet eBay :314632647090
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Caractéristiques de l'objet

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Neuf: Livre neuf, n'ayant jamais été lu ni utilisé, en parfait état, sans pages manquantes ni ...
Book Title
Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers
ISBN
9783642082726
Subject Area
Material Science, Mechanical Engineering
Publication Name
Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of Vlsi Manufacturing
Publisher
Springer-Verlag Berlin AND Heidelberg Gmbh & Co. KG
Subject
Engineering & Technology, Chemistry, Physics
Publication Year
2010
Type
Textbook
Format
Paperback
Language
English
Item Height
235 mm
Author
Takeshi Hattori
Item Weight
979 g
Item Width
155 mm
Number of Pages
616 Pages

À propos de ce produit

Product Information

A totally new concept for clean surface processing of Si wafers is introduced in this book. Some fifty distinguished researchers and engineers from the leading Japanese semiconductor companies, such as NEC, Hitachi, Toshiba, Sony and Panasonic as well as from several universities reveal to us for the first time the secrets of these highly productive institutions. They describe the techniques and equipment necessary for the preparation of clean high-quality semiconductor surfaces as a first step in high-yield/high-quality device production. This book thus opens the door to the manufacturing of reliable nanoscale devices and will be extremely useful for every engineer, physicist and technician involved in the production of silicon semiconductor devices.

Product Identifiers

Publisher
Springer-Verlag Berlin AND Heidelberg Gmbh & Co. KG
ISBN-13
9783642082726
eBay Product ID (ePID)
178247164

Product Key Features

Number of Pages
616 Pages
Language
English
Publication Name
Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of Vlsi Manufacturing
Publication Year
2010
Subject
Engineering & Technology, Chemistry, Physics
Type
Textbook
Author
Takeshi Hattori
Subject Area
Material Science, Mechanical Engineering
Format
Paperback

Dimensions

Item Height
235 mm
Item Weight
979 g
Item Width
155 mm

Additional Product Features

Editor
Takeshi Hattori
Country/Region of Manufacture
Germany

Description de l'objet fournie par le vendeur

Informations sur le vendeur professionnel

BOOKS ETC LIMITED
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Numéro de TVA :
  • GB 976952259
Numéro d'immatriculation de la société :
  • 06687355
Je fournis des factures sur lesquelles la TVA est indiquée séparément.
Je certifie que toutes mes activités de vente seront conformes à toutes les lois et réglementations de l'UE.
Numéro CRN :
  • 06687355
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